科目ナンバー

SE-OC3-4C25

履修条件・関連科目等

機械系、電気系の基礎科目を修得していることが望ましい。

授業で使用する言語

日本語

授業で使用する言語（その他の言語）

授業の概要

マイクロマシンとは何か、マイクロ化の意義に始まり、マイクロマシンの歴史と代表的なマイクロセンサ・アクチュエータの基本構造や動作原理について解説する。更に、それらを作製するための基本技術（フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜形成など）や、マイクロマシンの応用技術（自動車、家電、通信、医療・バイオなど）の最前線について講義する。

科目目的

①マイクロマシンに関する基礎的な用語に関して、正しい知識を有する。
②マイクロマシンの特徴やマイクロ化の意義について知る。
③代表的なマイクロマシンの基本構造やその動作原理と特徴を知る。
④マイクロマシンの基本的な作成技術の種類と特徴を知る。
⑤マイクロマシンの歴史や応用分野、今後の展望を知る。

到達目標

①マイクロマシンの特徴やマイクロ化の意義について理解する。
②代表的なマイクロマシンの基本構造やその動作原理と特徴を理解する。
③マイクロマシンの基本的な作成技術の種類と特徴を理解する。
④マイクロマシンの歴史や応用分野、今後の展望を理解する。

授業計画と内容

第１回　イントロダクション
第２回　マイクロマシンの概要、寸法効果
第３回　マイクロマシーニング・マイクロシステムの特徴
第４回　マイクロマシンの歴史と代表的なデバイス紹介
第５回　マイクロセンサ
第６回　静電マイクロアクチュエータ
第７回　磁気・熱マイクロアクチュエータなど
第８回　マイクロマシーニング概要、薄膜形成技術
第９回　フォトリソグラフィ
第10回　エッチング技術
第11回　特殊加工技術、組立など
第12回　圧力センサ、加速度センサ、ジャイロセンサ
第13回　光MEMS、DMD、インクジェットプリンタヘッド
第14回　医療・バイオテクノロジーとの融合

授業時間外の学修の内容

授業終了後の課題提出／その他

授業時間外の学修の内容（その他の内容等）

教員が指示ずる予定内容について，参考書の該当箇所に目を通しておくこと．基本的な用語の意味・内容をしっかりと理解するように復習して，manabaの小テストによる確認を行い，曖昧な点や疑問点を次回講義時まで持ち越さないこと．

授業時間外の学修に必要な時間数／週

・毎週１回の授業が半期（前期または後期）または通年で完結するもの。１週間あたり４時間の学修を基本とします。
・毎週２回の授業が半期（前期または後期）で完結するもの。１週間あたり８時間の学修を基本とします。

成績評価の方法・基準

成績評価の方法・基準（備考）

レポート課題，および，manabaの小テストについては，以下の基準により評価を行う．
①マイクロマシンに関する基礎的な用語に関して、正しく理解しているか？
②マイクロマシンの特徴やマイクロ化の意義を理解しているか？
③代表的なマイクロマシンの基本構造やその動作原理と特徴を理解しているか？
④マイクロマシンの基本的な作成技術の種類と特徴を理解しているか？
⑤マイクロマシンの歴史や応用分野、今後の展望に関する知識を有しているか？

課題や試験のフィードバック方法

授業時間に限らず、manabaでフィードバックを行う

課題や試験のフィードバック方法（その他の内容等）

アクティブ・ラーニングの実施内容

実施しない

アクティブ・ラーニングの実施内容（その他の内容等）

授業におけるICTの活用方法

その他

授業におけるICTの活用方法（その他の内容等）

manabaを利用します．

実務経験のある教員による授業

いいえ

【実務経験有の場合】実務経験の内容

【実務経験有の場合】実務経験に関連する授業内容

テキスト・参考文献等

教科書：
　松永忠雄，土肥徹次他著，「バイオ計測のための材料と微細加工」，（コロナ社，2022年，3,960円）
参考文献：他の参考書については、授業の第１回目に紹介予定。
　江刺正喜著、「はじめてのMEMS」（森北出版、2011年、2,625円）
　藤田博之著、「マイクロ・ナノマシン技術入門」（工業調査会、2003年、2,600円）
　山田一郎，土肥徹次他著，「スマートヘルスケア ～生体情報の計測・評価・活用とウェアラブルデバイスの開発と製品事例～」，（エヌ・ティー・エス社、2022年、45,000円）

その他特記事項

参考URL

dohi@msl.mech.chuo-u.ac.jp