科目ナンバー

SG-OC5-4C04

履修条件・関連科目等

機械系、電気系の基礎科目、マイクロマシン（学部３年次・後期）を修得していることが望ましい。

授業で使用する言語

日本語／英語

授業で使用する言語（その他の言語）

授業の概要

代表的なマイクロシステムについて、その特徴や基本構造、動作原理を紹介しながら、マイクロ化の意義やスケール効果について解説する。また、マイクロシステムを作製するための基本技術（フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜形成など）について解説し、微小な電気機械要素を設計するために必要な知識を獲得する。

科目目的

①代表的なマイクロマシーニングの種類と特徴を知る。
②代表的なマイクロシステムの特徴、基本構造やその動作原理を知る。
③スケール効果を理解する。

到達目標

①代表的なマイクロマシーニングの種類と特徴を理解する。
②代表的なマイクロシステムの特徴、基本構造やその動作原理を理解する。
③スケール効果を理解し、マイクロシステムの設計に利用することができる。

授業計画と内容

第１回　イントロダクション
第２回　マイクロマシンの作成技術Ⅰ（フォトリソグラフィなど）
第３回　マイクロマシンの作成技術Ⅱ（薄膜形成など）
第４回　マイクロマシンの作成技術Ⅲ（エッチングなど）
第５回　マイクロマシンの作成技術Ⅳ（組立、パッケージングなど）
第６回　マイクロマシンの基礎Ⅰ（マイクロセンサの種類と特徴）
第７回　マイクロマシンの基礎Ⅱ（マイクロセンサの動作原理）
第８回　マイクロマシンの基礎Ⅲ（マイクロアクチュエータの種類と特徴）
第９回　マイクロマシンの基礎Ⅳ（マイクロアクチュエータの動作原理）
第10回　マイクロマシンの設計Ⅰ（アクチュエータの概略設計）
第11回　マイクロマシンの設計Ⅱ（設計ソフトウェアの習得）
第12回　マイクロマシンの設計Ⅲ（アクチュエータの動作予測）
第13回　マイクロマシンの設計Ⅳ（アクチュエータの変位計算）
第14回　マイクロマシンの設計Ⅴ（設計構造の改良）

授業時間外の学修の内容

その他

授業時間外の学修の内容（その他の内容等）

教員が指示ずる予定内容について，参考書の該当箇所に目を通しておくこと．基本的な用語の意味・内容をしっかりと理解するように復習して，manabaの小テストによる確認を行い，曖昧な点や疑問点を次回講義時まで持ち越さないこと．

授業時間外の学修に必要な時間数／週

・毎週１回の授業が半期（前期または後期）または通年で完結するもの。１週間あたり４時間の学修を基本とします。
・毎週２回の授業が半期（前期または後期）で完結するもの。１週間あたり８時間の学修を基本とします。

成績評価の方法・基準

成績評価の方法・基準（備考）

課題や試験のフィードバック方法

授業時間に限らず、manabaでフィードバックを行う

課題や試験のフィードバック方法（その他の内容等）

アクティブ・ラーニングの実施内容

実施しない

アクティブ・ラーニングの実施内容（その他の内容等）

授業におけるICTの活用方法

その他

授業におけるICTの活用方法（その他の内容等）

manabaを活用します．

実務経験のある教員による授業

いいえ

【実務経験有の場合】実務経験の内容

【実務経験有の場合】実務経験に関連する授業内容

テキスト・参考文献等

教科書：
　松永忠雄，土肥徹次他著，「バイオ計測のための材料と微細加工」，（コロナ社，2022年，3,960円）
参考文献：他の参考書については、授業の第１回目に紹介予定。
　江刺正喜著、「はじめてのMEMS」（森北出版、2011年、2,625円）
　藤田博之著、「マイクロ・ナノマシン技術入門」（工業調査会、2003年、2,600円）
　山田一郎，土肥徹次他著，「スマートヘルスケア ～生体情報の計測・評価・活用とウェアラブルデバイスの開発と製品事例～」，（エヌ・ティー・エス社、2022年、45,000円）

その他特記事項

参考URL

dohi＠msl.mech.chuo-u.ac.jp